中国唯一一台euv光刻机现状,国内最先进的光刻胶企业

长春光机的EUV咋样了 2023-12-11 11:01 183 墨鱼

长春光机的EUV咋样了

中国唯一一台euv光刻机现状,国内最先进的光刻胶企业

因此，虽然中国距离实现EUV光刻机的量产还很遥远，但未来芯片生产可能不再需要光刻机。结论中国因不具备高端芯片研发能力而受到很大限制，因此，为了实现芯片自主，供应商垄断的现象导致了EUV光刻机价格高、供货周期长。据统计，一台EUV光刻机有超过10万个零部件，而这些零部件的供应需要来自全球5000多家供应商。具体来说，ASML

ASML作为中国半导体行业的标杆企业，来自荷兰，也是全球唯一一家能够生产EUV光刻机的企业。 EUV光刻机被称为"行业皇冠上的明珠"。一台重达180吨、零部件超过45万个的重型机器，单价远远高于目前的水平。在全球范围内，除了ASML之外，中国是唯一一家研发EUV光刻机的公司。由于EUV光刻机研发周期极长、技术难度极大，我国需要长期持续投入。目前，我国尚不具备成熟的EUV光刻技术

我国完整的EUV光刻机的研究是以EUV光源和EUV物镜为基础的。在中国科学院微电子研究所等单位的领导下，经过多年的研究，EUV光刻机已经研制成功。据ASML统计，一台EUV光刻机有超过10万个零部件，全球有超过5000家供应商，而这些零部件供应商遍布全球。在这种情况下，中国要想突破EUV光刻机制造难题，就必须整合这5000多家供应商

相反，根据光源的波长，分为436nm光源的"G线光刻机"；365nm光源的"I线光刻机"；248nm光源的"KrF光刻机"；193nm深紫外光源的"DUV光刻机"；而13.5nm极紫外光EUV光刻机最适合量产工厂使用，因为提高密度和CPU（中央处理器）速度，同时实现更小的芯片产品结构尺寸。国产光刻机发展新机遇1.电子束光刻技术电子束光刻技术

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